岗位描述
1. 本科及以上,自动化、电气工程、机械电子、控制工程、测控技术优先;硕士加分(纳米定位、运动控制方向)
2. 熟悉半导体设备工艺流程者优先,了解晶圆、真空环境、洁净室设备更佳。
1. 运动控制方案设计:多轴平台控制方案选型,控制器、电机、反馈器件选型评估;
2. 控制算法调试:PID参数整定,前馈、陷波滤波器调参,抑制机械谐振,优化轨迹;
3. 编写运动控制程序:点位、插补、多轴同步、回零逻辑,IO连锁,安全逻辑;
4. 性能测试:测试重复定位、定位精度、跟随误差、运动抖动,输出测试报告;
5. 现场问题排查:解决设备运动异响、共振、定位不准、同步异常;对接机械、电气、工艺工程师;
6. 配合工艺:运动与工艺模块(相机、激光器、探针)做硬触发同步;
7. 文档输出:规格文档、调试手册、故障排查SOP。