岗位描述
岗位职责
1.熟悉光刻工艺流程,熟悉光刻相关overlay control原理;
2.熟悉APC/R2R 原理;
3.熟悉IBO/DBO Mark设计及评估,了解光源信息,了解OPC相关知识;
4.熟练setup A750 OVL recipe 并进行ARO 对recipe进行verification;
5.熟练使用EDA 软件进行DB output, 了解DRC;
6.熟练运用MSA 手段对量测结果进行验证;
7.熟练setup CDSEM recipe(AMAT/HITACHI);
8.PFA/TEM 实验申请及报告解读;
9.在线量测异常(如:生产线突发异常,SPC报表异常等)诊断;
10.熟悉统计学基本原理。
岗位要求
1.5年以上半导体量测研发相关经验;
2.硕士及以上学历,工学,化学,物理,材料,半导体器件,微电子等专业背景;
3.量测机台Recipe setup经验,有OVL/CD recipe setup经验这优先;
4.熟悉MSA方法,了解DRAM工艺优先。