岗位描述
岗位职责
1.光刻工艺研究与节点开发: 主导光刻工艺(涵盖DUV光刻、多重曝光、光刻胶优化、套刻精度控制)的研发,推进工艺节点开发并达成技术目标;
2.新材料、新设备与新工艺探索: 评估并引入新材料、新设备和新工艺,持续提升光刻工艺的分辨率、良率和工艺稳定性;
3.光刻仿真与数据分析: 进行光刻仿真(如OPC、SMO),使用JMP、MATLAB或Python等工具完成实验数据分析,优化工艺参数窗口;
4.研发项目管理与技术路线制定: 主导光刻工艺研发项目,制定技术路线图,确保关键节点按期交付并达成项目目标;
5.跨部门协作与技术量产转移: 与设备、整合、制程、良率等团队紧密协作,推动光刻技术从研发向量产的平稳落地;
6.缺陷分析与技术方案产出: 深入分析光刻制程中的缺陷、套刻误差及CD均匀性问题,提出并验证系统性技术解决方案;
7.实验设计(DOE)方法建立: 建立并推广DOE方法论,系统提升工艺窗口,提高工艺容差与产品鲁棒性;
8.团队管理与技术沉淀: 管理光刻研发团队,制定人员发展计划并培养核心技术人员,主导技术专利与论文撰写,参与行业技术交流。
岗位要求
1.教育背景与专业知识:硕士及以上学历,微电子、物理、化学、材料科学或光学工程等相关专业,具备扎实的半导体器件物理与光刻理论功底;
2.专业技能与资格:能使用JMP、MATLAB或Python完成SPC及CD-SEM数据分析,具备PMP或敏捷开发项目管理资质者优先,能流利阅读并撰写英文技术文档和专利;
3.行业与专业经验:8年以上半导体光刻研发工作经验,熟悉半导体制造全流程(FEOL/BEOL),其中具备3年以上光刻工艺研发团队管理经验,精通光刻工艺核心指标(如NA、DOF、EL、LWR),熟悉ASML、Nikon、Canon光刻设备及KLA、Hitachi配套检测设备,具备光刻胶、抗反射层(BARC)及显影工艺优化实战经验;
4.项目/任务成果:主导过至少3个光刻工艺从研发到量产的技术项目,独立解决过套刻精度、CD均匀性或良率相关的系统性难题;
5.其他要求:具有创新思维与技术敏锐度,能将研发成果转化为量产技术,具备出色的跨部门沟通与项目管理能力,能有效激励团队并推动多方协作达成技术共识。