岗位描述
岗位职责
1. 负责半导体设备真空腔体、泵组、管路、密封及控制模块方案设计、开发与性能优化,保障高真空、高洁净稳定工艺环境
2. 使用ANSYS/COMSOL完成流场、压力、泄漏仿真,攻克流体、热力相关技术问题
3. 真空泵、阀门、真空计等核心器件选型,输出规格书,对接供应商完成试样测试验收
4. 跨电气、软件、工艺团队协同整机研发,完成样机调试、故障整改,推进量产落地
5. 输出图纸、BOM、测试报告等全套技术文件,符合SEMI行业标准,参与技术评审迭代
6. 调研真空前沿技术,开展新技术预研落地,提升产品竞争力
7. 处理量产及客户端真空故障,提供技术支持,持续优化设备
岗位要求
1. 真空工程、机械、能动、精密仪器、化工等相关专业,硕士及以上,3年及以上真空设备研发经验
2. 熟练SolidWorks、AutoCAD机械制图
3. 精通机械设计、公差、材料力学、产品全开发流程
4. 掌握真空设计、流体、传热、有限元仿真基础理论
5. 有半导体真空设备开发、FEM仿真、光学仿真经验优先