岗位描述
职位概述:
负责处理等离子体刻蚀机台的射频相关事宜,与合作伙伴良好协作,设计和优化射频系统(如射频电源、射频匹配器、Vpp探测器、AEIT等),并提供故障分析、问题排查及客户支持。该岗位还要求候选人具备为新设备设计和开发射频系统的能力,能够策划并执行CIP测试以优化射频系统,并编写文档以将设计变更发布至生产环节。
岗位职责:
1.负责半导体CVD/PECVD/ETCH设备中射频等离子体源及阻抗匹配网络的设计、仿真与开发;
2.完成射频发生器、匹配器、电极结构等关键部件的选型、设计、调试与整机集成;
3.开展等离子体特性测试与工艺优化,解决射频反射、驻波、干扰等工程问题;
4.编写设计文档,配合机械、工艺团队完成整机联调与机台验证。
岗位要求:
1.博士学历,等离子体物理、电磁场与微波技术、通信与信息系统、物理电子学、电力电子等相关专业应届毕业生;
2.具备扎实的电磁场与微波理论基础,熟悉传输线理论、阻抗匹配理论、S参数网络分析及史密斯圆图应用;
3.熟悉射频电路基本拓扑(功率放大器、匹配网络、滤波器、耦合器等),了解射频系统链路预算与噪声分析;
4.精通ADS(Advanced Design System),能够独立完成射频电路仿真、系统级仿真及电磁仿真(Momentum/EMPro等与建模);
5.熟练使用MATLAB进行算法开发、数据处理及控制系统仿真;
6.熟悉等离子体技术基本原理(CCP/ICP/ECR等)及等离子体诊断方法(如Langmuir探针、OES等);
7.了解射频电源基本工作原理及调频算法(如频率调谐、动态阻抗匹配等)的基本概念;
8.具有良好的英语阅读能力,能够熟练阅读英文技术文献及器件规格书。