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瑞声科技

(27届秋招)光刻工程师

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岗位描述

岗位职责
1、负责半导体/微纳光学光刻工艺开发、参数调试与量产维护,包含涂胶、烘烤、对准曝光、显影、硬烘等全流程工艺;
2、优化光刻核心工艺参数(曝光剂量、焦距、胶厚、转速、温度、套准Overlay),开展DOE实验,验证工艺窗口,稳定CD线宽与图形良率;
3、负责光刻工艺异常分析与改善,解决残胶、针孔、图形畸变、条纹、对焦偏移、尺寸漂移等常见工艺缺陷,持续提升良率与稳定性;
4、熟练使用CD-SEM、光学轮廓仪、Overlay量测设备,完成图形检测、数据分析与制程监控;
5、编写工艺SOP、实验报告、工艺变更文档,配合刻蚀、薄膜、量测团队推进新工艺导入与产品量产爬坡。

岗位要求
1、 硕士及以上学历,微电子、光学工程、材料、精密仪器、应用物理等相关专业;
2、 熟悉光刻基本原理与完整工艺流程,了解KrF/ArF/i线光刻或微纳光刻工艺者优先;
3、具备工艺调试、问题分析、DOE实验及良率改善能力,能够独立处理产线工艺异常。

生产营运方向的申请准备

先核对岗位要求与自己的经历,再准备档案、投递和面试。

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